工藝過程裝備

            多工位排氣臺(tái)
            在一定溫度下,對(duì)傳感器芯片進(jìn)行加熱除氣處理.
            極限真空度(冷態(tài)):≤2x10??Pa
            工位數(shù):90工位
            加熱溫度:200℃
            溫度均勻性:±5℃℃
            溫度過沖≤3℃℃

            性能指標(biāo)

            工位數(shù):90工位
            加熱溫度:200℃
            溫度均勻性:±5℃℃
            溫度過沖≤3℃℃

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