工藝過(guò)程裝備

            FJ 系列單抽口分子泵機(jī)組--FJ1200分子泵機(jī)組
            ◆ 可配置多種真空接口,便于拓展。
            ◆ 可配置成無(wú)油真空系統(tǒng)。
            ◆ 抽速穩(wěn)定,可用于多種工況。
            ◆ 可單獨(dú)移動(dòng),方便操作。
            ◆ 具有手動(dòng)、自動(dòng)功能。

            性能指標(biāo)

            型號(hào)

            機(jī)組穩(wěn)定抽速(L/S)

            空載極限真空(Pa)

            分子泵型號(hào)

            前級(jí)泵

            機(jī)組尺寸(mm,不含羅茨泵)

            FJ1300

            1300

            9×10-5

            FF-200/1300

            干泵或旋片泵(可配羅茨泵)

            1000×600×1000


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