工藝過程裝備

            FJ 系列多抽口分子泵機組主要配置--FJ2000G分子泵機組
            ◆ 可配置多種真空接口,便于拓展??膳渲贸蔁o油真空系統(tǒng)。
            ◆ 抽速穩(wěn)定,可用于多種工況。
            ◆ 可單獨移動,方便操作。
            ◆ 具有手動、自動功能。

            性能指標

            型號

            機組穩(wěn)定抽速(L/S

            空載極限真空(Pa

            分子泵型號

            前級泵

            機組尺寸mm,不含羅茨泵)

            FJ2000

            2000

            9×10-5 

            FF-250/2000

            干泵或旋片泵(可配羅茨泵)

            1000×600×1500


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