主要特點(diǎn)：模塊設(shè)計(jì)，易于安裝體積小巧；自動(dòng)化高，一鍵啟動(dòng)運(yùn)行；功能性強(qiáng)，支持多種靶材鍍膜；穩(wěn)定性好，高效成膜質(zhì)量可靠。
真空室尺寸(mm)：Φ114×H128；
濺射靶材尺寸(mm)：2英寸(厚度≤2mm)；
樣品臺(tái)：帶1個(gè)Φ50mm樣品臺(tái)和7個(gè)Φ13mm 掃描電鏡樣品杯，電動(dòng)旋轉(zhuǎn)。
創(chuàng)新·誠(chéng)信·高效
始建于1959年
企業(yè)郵箱
OA系統(tǒng)
